パターニング受託加工
ユニファイはウェハーの準備からパターニング、BG、ダイシングまで一貫加工いたします。
| 露光 | アライナー 両面アライナー ｉ線スッテパー KrFステッパー EB露光 |
Φ50㎜〜Φ300㎜対応 50㎜〜Φ200㎜対応 100㎜〜Φ200㎜対応 Φ200㎜対応 100㎜〜Φ150㎜対応 |
|---|---|---|
| エッチング | ウエット RIE D-RIE |
Φ50㎜〜Φ300㎜対応 Φ50㎜〜Φ200㎜対応（Si、SiO2、SiN） Φ50㎜〜Φ200㎜対応 |
