成膜受託加工
ユニファイは熱酸化、CVD、スッパタ成膜の受託加工をいたします。
| 熱酸化 | チップ〜Φ300㎜（Wet、Dry） | |
|---|---|---|
| PE－DVD | チップ〜Φ300㎜ SiN、SiO2、TEOS、SiC、DLC | |
| LP－DVD | Φ50㎜〜Φ200㎜ SiN、Poly－Si | |
| スパッタ | チップ〜Φ300㎜（Φ300㎜以上は別途ご相談） | |
| メタル | Au、Ag、Al、Cr、Ni、Ti、Cu、Ta、Mo、W、Pt、Pd、Ru、Co、Mn、Mg、Nb、Si、Ge、Fe、Nd、Sb、Sn、Zn、など | |
| 合⾦ | Al-Si-Cu、Al-Si、Al-Cu、Ti-W、Ni-Cr、W-Si、MoS Ti-Ni、NiFe、など | |
| 酸化物 | Al2O3、SiO2、ZnO、MgO、ZrO2、Ta2O5、TiO2、ITO、Cr2O3、CeO2、Y2O3、AZO、YBCO、MoO3、TiC-SiO2、TaSiO2、など | |
| 窒化物 | Si3N4、TiN、TaN、ZrN、AlN、BN、など | |
